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Tecnología > MEMS > Circuitos

Circuitos

	Microfotografía de un chip con estructuras de prueba para la fabricación de un prototipo de sensor de gas (SGS), empleando la tecnología de 1.2 micras.
	Microfotografía de los microcalefactores de prueba del chip prototipo para sensor de gas, antes del micromaquinado (izquierda) y después del micromaquinado (derecha).
	Layout del chip de prueba del acelerómetro, para ser fabricado en tecnología de 0.5 micras.

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