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Líneas de Investigación

MEMS

Dentro del grupo de sistemas VLSI existe la línea de investigación que se orienta al diseño, modelación y análisis de dispositivos MEMS que dirige el Dr. Mario Alfredo Reyes Barranca. Los materiales de apoyo informativo de la línea de investigación se encuentran disponibles en esta página.

Diseño, fabricación y caracterización de MEMS

Tecnología MEMS

Simulación en COMSOL

MEMS Acaros

Laboratorio VLSI Aplicaciones MEMS

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